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仪器设备一览表
 

序号

所属研究室

仪器名称

仪器型号

预约方式

区域中心内收费标准

房间电话

联系人

1

一室

静态参数功率器件测试系统

TESEC 3620-TT

网上预约

25 元 / 支

净化楼三层

陆江

82995650

2

一室

动态参数测试系统

TESEC 3430-SW

网上预约

600 元 / 小时

净化楼三层

陆江

82995650

3

一室

热阻测试系统

TESEC 9424-KT

网上预约

600 元 / 小时

净化楼三层

陆江

82995650

4

一室

雪崩能量测试系统

TESEC 3702-LV

网上预约

600 元 / 小时

净化楼三层

陆江

82995650

5

一室

栅电荷测试系统

ITC 59100

网上预约

600 元 / 小时

净化楼三层

陆江

82995650

6

一室

数字存储大功率半导体管特性图示仪

XJ4832

网上预约

20 元 / 支

净化楼三层

陆江

82995650

7

一室

高低温试验箱

VTM7004

网上预约

600/ 小时

62007208

李晶

8

一室

半导体参数测试仪

4200

网上预约

600/ 小时

62007208

李晶

9

一室

手动探针台

PW-800

网上预约

600/ 小时

62007208

李晶

10

一室

半自动探针台

PA300

网上预约

800/ 小时(暂定)

62007208

李晶

11

一室

示波器

MSO 4104 型

网上预约

600/ 小时

62007208

李晶

12

一室

半导体参数测试系统

HP4061

网上预约

600/ 小时

62007208

李晶

13

一室

集成电路验证系统

HP93000

网上预约

800/ 小时(暂定)

62007208

李晶

14

一室

集成电路验证系统

HP82000

网上预约

800/ 小时(暂定)

62007208

李晶

15

一室

半导体参数测试仪

4200

网上预约

600/ 小时

62007208

李晶

16

所级实验平台

JEOL JBX- 6300FS 电子束光刻系统

JEOL JBX- 6300FS

网上预约

需要依照电子束曝光图形具体线条尺寸、密度,及占用机时确定收费

净化楼一层 82995648

牛洁斌

17

所级实验平台

JEOL JBX- 5000LS 电子束光刻系统

JEOL JBX- 5000LS

网上预约

需要依照电子束曝光图形具体线条尺寸、密度,及占用机时确定收费

净化楼一层 82995648

牛洁斌

18

三室

GCA 3600F Pattern Generator 图形发生器

GCA 3600F

网上预约

需要依照掩模版图形具体线条尺寸、密度,以及掩模版尺寸、材料等确定收费

净化楼一层 82995648

李友

19

三室

GCA 3696 Photorepeater 分步重复精缩机

GCA 3696

(按光学制版系统预约)

20

三室

MEBES 4700S 电子束掩模曝光系统

MEBES 4700S

 

21

三室

原子层沉积薄膜制备系统

BENEQ TFS200

网上预约

暂定:

净化楼一层

胡媛

( 2011 新增)

开机费: 200 元

82995579

 

HfO2 : 5 元 /1 Å

 
 

Al2O3 : 1 元 /1Å

 
 

TiO2 : 0.5 元 / 1Å

 

22

三室

离子束溅射薄膜制备及刻蚀系统

定制

网上预约

暂定:

净化楼一层

胡媛

( 2011 新增)

开机费: 300 元

82995579

 

HfO2 :元 /10 Å

 
 

Hf :元 /10 Å

 

23

三室

双腔室电子束蒸发镀膜系统

DENTON Explorer 14 改进型

网上预约

开机费: 400 元, Au : 1 元 /1Å 、

净化楼一层

胡媛

Ag : 1 元 /2Å 、

82995579

Al : 1 元 /50Å 、 Ti : 1 元 /10Å 、 SiO2 : 1 元 /10Å

 

24

三室

光学曝光机

SUSS MA6

网上预约

开机费: 200 元,

净化楼一层

胡媛

曝光: 150 元 / 片

82995579

25

三室

相位调制型椭圆偏振光谱仪

Horiba Uvisel FUV

网上预约

暂定:

净化楼一层

胡媛

( 2011 新增)

开机费: 200 元,

82995579

 

测试: 30 元 / 点

 

26

三室

台阶仪

Dektak150

网上预约

测试: 15 元 / 点

净化楼一层

胡媛

82995579

27

三室

低温测试物性表征系统

Lake Shore TTP4

直接联系

根据测试需求确定收费

A706 测试间

余兆安

82995582

28

三室

电学性能测试系统

Keithley4200

直接联系

根据测试需求确定收费

A706 测试间

余兆安

82995582

29

四室

Loadpull 在片测试系统

Tuner MT982BU )、

网上预约

1000 元 / 小时

82995800

李艳奎

信号源( HP83752B )、

开机费 600 元 / 次

功率计( Agilent E4417)

校准 400 元 / 频点

频谱仪( HP8563E )、

 

直流源( HP4142 、 HP6624 )

 

探针台( Cascade 9K )

 

30

四室

小信号在片测试系统

矢网( AgilentE8363B )、

网上预约

1000 元 / 小时

82995800

李艳奎

直流源( Hp4142 )

开机费 400 元 / 次

探针台( SUSS PA200 )

 

31

四室

三毫米在片测试系统

矢网( HP8510C )

网上预约

2000 元 / 小时

82995800

李艳奎

信号源( AV1481 )

开机费 600 元 / 次

波控机( AV3640 )

 

谐波混频器( AV3645 )、

 

探针台( SUSS PA200 )

 

32

四室

光电测试系统

误码分析仪( Agilent81250D )

网上预约

600 元 / 小时

82995800

李艳奎

宽带示波器( Agilent86100A )

开机费 300 元 / 次

33

四室

C_V 在片测试系统

LCR 表( Agilent4284A )

网上预约

500 元 / 小时

82995800

李艳奎

开机费 100 元 / 次

34

四室

高低温在片测试系统

探针台( Cascade 12000 )

网上预约

200 元 / 小时

82995800

李艳奎

温控( TP 03000 )

35

四室

微波功率晶体管老化系统

老化系统(中安电子 BTW-E381 )

网上预约

 

82995800

李艳奎

冷水机( GW511C )

36

四室

微波半导体脉冲测试系统

脉冲分析仪(华北集成电路 NC4832 )

网上预约

500 元 / 小时

82995800

李艳奎

开机费 200 元 / 次

37

八室

等离子增强化学气相沉积系统

HQ-2

直接联系

开机费 500 元 +

010-82995842

刘淼

300 元 / 样品

38

八室

原子力显微镜

Veeco Dimension D3100 AFM

预约(可电话联系)

265/ 点 + 开机费 300 元 / 次

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

39

八室

快速退火炉

AW810M

预约(可电话联系)

190 元 / 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

40

八室

激光共焦显微镜

OPLYMPUS LEXT OSL 4000

预约(可电话联系)

200/ 小时 +50 元 / 次(开机)

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

41

八室

台阶仪

P6

预约(可电话联系)

170 元 / 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

KLA-Tencor

010-82995842

13426056217

任爱

42

八室

椭偏仪

UVISEL2 HORIBA

预约(可电话联系)

200/ 点 + 开机费 200 元

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

43

八室

四探针电阻测试仪

CRESBOX

预约(可电话联系)

180/ 小时 , 130/ 样品

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

44

八室

同步热分析仪

STA449F3

预约(可电话联系)

240 元 / 小时 +250 元 / 次(开机)

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

45

八室

光学轮廓仪

MICRO XAM1200

预约(可电话联系)

350 元 / 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

46

八室

傅立叶红外光谱仪

VERTEX 70V

预约(可电话联系)

170/ 小时 ,120/ 样

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

010-82995842

13426056217

 

010-82995842

13426056217

 

010-82995842

13426056217

 

47

八室

磁控溅射台

SP-3

预约(可电话联系)

530/ 样 +50 元 /100nm

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

48

八室

等离子体浸没式离子注入机

PIII-100

预约(可电话联系)

580 元 / 样品 +300 元 / 次(开机)

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

49

八室

紫外光刻机

URE-2000/A

预约(可电话联系)

450 元 / 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

50

八室

匀胶机

KW

预约(可电话联系)

AZ4620 胶 : 2 寸或小于 2 寸片 30 元 / 片; 4 寸片 80 元 / 片; 6 寸片 150 元 / 片。普通胶 : 30 元 / 片。(此收费只针对单独涂胶工艺)

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

51

八室

硅片清洗机

SFQ-1508T

预约(可电话联系)

350 元 / 小时 +300 (开机)

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

52

八室

旋转冲洗甩干机

CXS-2200B

预约(可电话联系)

115 元 / 小时 +100 元(开机)

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

53

八室

零件超声清洗机

 

预约(可电话联系)

120 元 / 次

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

54

八室

高密度等离子体刻蚀机

KE-320 ICP

预约(可电话联系)

840 / 炉 +10 元 / 片 +600 元(开机)

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

010-82995842

13426056217

 

55

八室

显微镜

奥林巴斯 BX51

预约(可电话联系)

65 元 \ 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

56

八室

显微镜

奥林巴斯 MX61

预约(可电话联系

95 元 / 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

010-82995842

13426056217

 

57

八室

太阳能电池 IV 测试仪

SOL3A

预约(可电话联系

240/ 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

58

八室

X 射线衍射仪

X-RAY

预约(可电话联系

360 元 / 小时 +200 元开机

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

59

八室

霍尔效应测试仪

Hall 8800

预约(可电话联系

常温 130 元 / 样品

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

60

八室

电镀设备

自主研发

预约(电话联系

100 元 / 样

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

61

八室

等离子体增强原子层沉积系统

PEALD

预约(电话联系

( 800 +50 元 /10nm ) / 炉 +500 元(开机)

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

62

八室

键合机

KBS-200S

预约(电话联系

500 元 / 样品 +300 元 / 次(开机)

010-82995842

13426056217

邢建鹏

(阳极、共晶等键合)

010-82995842

13426056217

任爱

 

010-82995842

13426056217

 

63

八室

全自动反射式薄膜测量仪

Film-100

预约(电话联系

350 元 / 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

65

八室

薄膜均匀性快速检测仪

CD-1000i

预约(电话联系

350 元 / 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

66

八室

高精度电子天平

METTLER TOLEDO

预约(电话联系

50 元 \ 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

67

八室

可编程数字热板

Echo Therm

预约(电话联系

65 元 / 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

68

八室

ICP 刻蚀机

PVD-ICP

预约(电话联系

110 元 / 样 +300 开机

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

69

八室

晶圆颗粒检测样机

自主研发

预约(电话联系

550 元 / 晶圆 +500 (开机)

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

38

八室

原子力显微镜

Veeco Dimension D3100 AFM

预约(可电话联系)

265/ 点 + 开机费 300 元 / 次

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

39

八室

快速退火炉

AW810M

预约(可电话联系)

190 元 / 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

40

八室

激光共焦显微镜

OPLYMPUS LEXT OSL 4000

预约(可电话联系)

200/ 小时 +50 元 / 次(开机)

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

41

八室

台阶仪

P6

预约(可电话联系)

170 元 / 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

KLA-Tencor

010-82995842

13426056217

任爱

42

八室

椭偏仪

UVISEL2 HORIBA

预约(可电话联系)

200/ 点 + 开机费 200 元

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

43

八室

四探针电阻测试仪

CRESBOX

预约(可电话联系)

180/ 小时 , 130/ 样品

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

44

八室

同步热分析仪

STA449F3

预约(可电话联系)

240 元 / 小时 +250 元 / 次(开机)

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

45

八室

光学轮廓仪

MICRO XAM1200

预约(可电话联系)

350 元 / 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

46

八室

傅立叶红外光谱仪

VERTEX 70V

预约(可电话联系)

170/ 小时 ,120/ 样

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

010-82995842

13426056217

 

010-82995842

13426056217

 

010-82995842

13426056217

 

47

八室

磁控溅射台

SP-3

预约(可电话联系)

530/ 样 +50 元 /100nm

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

48

八室

等离子体浸没式离子注入机

PIII-100

预约(可电话联系)

580 元 / 样品 +300 元 / 次(开机)

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

49

八室

紫外光刻机

URE-2000/A

预约(可电话联系)

450 元 / 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

50

八室

匀胶机

KW

预约(可电话联系)

AZ4620 胶 : 2 寸或小于 2 寸片 30 元 / 片; 4 寸片 80 元 / 片; 6 寸片 150 元 / 片。普通胶 : 30 元 / 片。(此收费只针对单独涂胶工艺)

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

51

八室

硅片清洗机

SFQ-1508T

预约(可电话联系)

350 元 / 小时 +300 (开机)

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

52

八室

旋转冲洗甩干机

CXS-2200B

预约(可电话联系)

115 元 / 小时 +100 元(开机)

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

53

八室

零件超声清洗机

 

预约(可电话联系)

120 元 / 次

010-82995842

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邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

54

八室

高密度等离子体刻蚀机

KE-320 ICP

预约(可电话联系)

840 / 炉 +10 元 / 片 +600 元(开机)

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

010-82995842

13426056217

 

55

八室

显微镜

奥林巴斯 BX51

预约(可电话联系)

65 元 \ 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

56

八室

显微镜

奥林巴斯 MX61

预约(可电话联系

95 元 / 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

010-82995842

13426056217

 

57

八室

太阳能电池 IV 测试仪

SOL3A

预约(可电话联系

240/ 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

58

八室

X 射线衍射仪

X-RAY

预约(可电话联系

360 元 / 小时 +200 元开机

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

59

八室

霍尔效应测试仪

Hall 8800

预约(可电话联系

常温 130 元 / 样品

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

60

八室

电镀设备

自主研发

预约(电话联系

100 元 / 样

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

61

八室

等离子体增强原子层沉积系统

PEALD

预约(电话联系

( 800 +50 元 /10nm ) / 炉 +500 元(开机)

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

62

八室

键合机

KBS-200S

预约(电话联系

500 元 / 样品 +300 元 / 次(开机)

010-82995842

13426056217

邢建鹏

(阳极、共晶等键合)

010-82995842

13426056217

任爱

 

010-82995842

13426056217

 

63

八室

全自动反射式薄膜测量仪

Film-100

预约(电话联系

350 元 / 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

65

八室

薄膜均匀性快速检测仪

CD-1000i

预约(电话联系

350 元 / 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

66

八室

高精度电子天平

METTLER TOLEDO

预约(电话联系

50 元 \ 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

67

八室

可编程数字热板

Echo Therm

预约(电话联系

65 元 / 小时

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

68

八室

ICP 刻蚀机

PVD-ICP

预约(电话联系

110 元 / 样 +300 开机

010-82995842

13426056217

邢建鹏

010-82995842

13426056217

任爱

69

八室

晶圆颗粒检测样机

自主研发

预约(电话联系

550 元 / 晶圆 +500 (开机)

010-82995842

邢建鹏

13426056217

任爱

70

十室

高温扩散炉

BTU

直接联系

氧化 2000 元 / 炉;推进 3000 元 / 炉

82995561

蒋浩杰

71

十室

CVD 扩散炉

G---2627

直接联系

2000 元 / 炉

82995561

蒋浩杰

72

十室

扩散炉

ASM-250

直接联系

LTO:3000 元 / 炉; POLY ; 3000 元 / 炉; TEOS:2500 元 / 炉

82995561

蒋浩杰

73

十室

LPCVD 扩散炉

TEMPRESS

直接联系

POLY ; 3000 元 / 炉;氮化硅: 2000 元 / 炉

82995560

蒋浩杰

74

十室

平板 CVD 炉

AMP-3300

直接联系

PESIN:2000 元 / 炉; PESIO:1500 元 / 炉

82995560

蒋浩杰

75

十室

膜厚仪

NANOSPEC/AFT

直接联系

一点 50 元

82995560

蒋浩杰

76

十室

椭偏仪

GES5E

直接联系

常规:一点 50 ;其他高 K 材料或多层膜 500 元 / 点

82995560

蒋浩杰

77

十室

干法刻蚀机

Rainbow4420

直接联系

150 元每片

8299-5794

赵玉印

78

十室

干法刻蚀机

Rainbow4520

直接联系

150 元每片

8299-5794

赵玉印

79

十室

溅射台

Varian3180

直接联系

75 元每片

82995561

张浩

82995794

80

十室

溅射台

MLH-2306 RDE

直接联系

150 元每片

82995561

柴淑敏

82995794

张浩

81

十室

注入机

IM-200

直接联系

150 元每片

82995560

刘金彪

82995793

张浩

82995794

 

 

 

 

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