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SCRUBBER
2013-09-22 | 编辑: | 【 【打印】【关闭】

  刷洗机 1. 在沉积或蚀刻制程之后常会有些微尘落在芯片表面,此种P/D可刷洗去除,避免对良率的伤害。2. 依照膜的性质,及机台的特性不同,通常我们有下列5种不同刷洗方式:- 去离子水冲洗- 毛刷刷洗- 高压水刷洗- 毛刷加高压水刷洗- 芯片双面刷洗



 
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