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SELECTIVITY
2013-09-22 | 编辑: | 【 【打印】【关闭】

  选择性 1. 定义:两种材料,分别以相同的酸液或电浆作蚀刻,其两种蚀刻率之比值谓之。例如复晶电浆蚀刻:对复晶之蚀刻率为2000?/min对氧化层之蚀刻率为200 ?/min则复晶对氧化层之选择性:SS=2000?/min/200 ?/min=10选择性越高表示蚀刻特性越好。一般干事实刻选择性较化学湿蚀刻为差,吾人取较高的选择性之目的即在于电浆蚀刻专心蚀刻该蚀刻之氧化层,而不会商道上层光阻或下层氧化层,以确保蚀刻之完整性。



 
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