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SILICON
2013-09-22 | 编辑: | 【 【打印】【关闭】

  硅化物 一般称为硅化物(Silicide),指耐火金属(Refratory Metal)之硅化物,如钛(Ti)、钨(W)、钼(Mo)等与元素硅(Si)结合而成之化合物(TiSi2、Wsi2、MoSi2)。硅化物应用在组件之目的,主要为降低金属与硅接口]、闸极或晶体管串联之阻抗,以增加组件之性能。以钛之硅化物为例。



 
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