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STEPPER
2013-09-22 | 编辑: | 【 【打印】【关闭】

  步进式对准机 1. 定义:Stepper(步进式对准机)系Stepprojection aligner 之简称。Stepper与Project aligner原理类似,只是将每片芯片分为20~60次曝光完成。Stepper使用自动对准,不但迅速、精确,且可使用计算机计算、补偿。对准方式可分为Global、Die by Die、Advanced Global Alignment,此三种方式均可补偿因芯片形变造成之对准不良(如Run in/Run out)。Stepper亦可按缩影比例,分为1X、5X、10X三种。以最常见之5X为例,光罩上一条5u之直线,曝在芯片上,仅1μ而已。



 
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