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获奖时间 获奖名称 获奖类别 完成人(主要参加者)
2017年1月9日 氧化物阻变存储器机理与性能调控 2016年国家自然科学奖 刘明、刘琦、管伟华、龙世兵、王艳
2016年 22纳米集成电路核心工艺 2016年北京市科学技术奖一等奖 叶甜春,徐秋霞,朱慧珑,陈大鹏,赵超,闫江,王文武,霍宗亮,李俊峰,殷华湘,李东三,张建勇,王敬
2016年 纳米集成电路关键技术及应用 2016年中国电子学会科学技术奖技术发明类一等奖 叶甜春,徐秋霞,朱慧珑,赵超,张卫,王敬
2016年 高密度三维系统级封装关键技术研究 2016年北京市科学技术奖二等奖 万里兮、曹立强、蔡坚、陈兢、于中尧、王珺、孙蓉、李慧云、谬旻、王福亮、周云燕、李宝霞、李君、宋崇申、孙瑜
2014年1月10日 高精度微纳结构掩模制造核心技术 2013年国家技术发明二等奖 刘明、谢常青、叶甜春、陈宝钦、卞福良、龙世兵
2013年 X光单级衍射光栅研制 2013年度国家技术发明二等奖 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,中国科学院微电子研究所(谢常青排名第四,朱效立排名第五)
2013年 高密度多层封装基板制造工艺开发与产业化 2013年度深圳市科技进步二等奖 深南电路有限公司,中国科学院微电子研究所(阎跃鹏),清华大学,中国科学院深圳先进技术研究院
2012年 超大规模集成电路65-40纳米成套产品工艺研发与产业化 2012年度北京市科学技术一等奖 中芯国际,微电子所(陈岚、叶甜春等)
2011年3月28日 首都科技条件平台中科院研发实验服务基地 首都科技条件平台中科院研发试验服务基地先进集体二等奖
2010年 微纳结构“自上而下”制备核心技术与集成应用 北京市科学技术一等奖(908-2010-001) 刘 明 谢常青 陈宝钦 卞福良 龙世兵 田 炜商立伟 朱效立 姬濯宇 沈俊然 王 琴 李 友 叶甜春 段小楠 徐 佳
2009年12月23日 100nm高密度等离子刻蚀机研发与产业化 国家科学技术进步二等奖
2009年 第三代(宽禁带)半导体电子材料和器件基础研究 2009年国防科技进步一等奖 中国电子科技集团公司、13所、46所、55所、北大、西电、半导体所、微电子所(排名第十,刘新宇)
2009年 移动通讯用滤波器关键技术及产业化 国家科技进步二等奖
2009年 移动通讯用滤波器关键技术及产业化 2009年国家科技进步二等奖 电子科技集团26所、清华大学、微电子所,中电科技德清华莹电子有限公司,中国电子科技集团公司第五十五研究所,山东大学,
2008年12月 100nm高密度等离子刻蚀机研发与产业化 北京市科学技术奖一等奖 赵晋荣、张伯旭、耿锦启、张建勇、李东三、王宝全、李 兵、孙 岩、张秀川、刘利坚、赵梦欣、南建辉、夏 威、白志民、徐 华
2008年 90-65纳米极大规模集成电路大生产关键技术研究 2008年国家科技进步二等奖 徐秋霞
2007年 中高频声表面波关键材料及技术研究 2007年国家技术发明二等奖 刘明
2007年 90-65纳米极大规模集成电路大生产关键技术研究 2007年教育部科学技术一等奖 徐秋霞、叶甜春
2005年 亚30纳米CMOS器件相关的若干关键工艺技术研究 2005年国家技术发明二等奖 徐秋霞 钱鹤 韩郑生 刘明 陈宝钦 叶甜春
2005年 High Performance 70nm CMOS Devices 2005年中国科协期刊第一届优秀论文奖 徐秋霞 钱鹤 殷华湘 贾林 季红浩 陈宝钦 朱亚江 刘明
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