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获奖时间 获奖名称 获奖类别 完成人(主要参加者)
1990年 PI-A型耐热光敏树脂及光刻工艺研究 1990年,院科技进步三等奖 韩阶平 李佐邦 侯豪情 白宗武 徐卫东
1990年 FD-2型RIE通用刻蚀机刻蚀机研制与超精细图形刻蚀工艺研究 1990年中国科学院科技进步二等奖 高士平 徐维江 岳惠武 程秀玲 石西增
1989年 1990年 康发系列CAE工作站的开发及实用化 1989年中国科学院科技进步一等奖;1990年国家科委三等奖 联合攻关项目,与中科院软件中心合作,本单位获奖人员夏武颖、曾学勤、许新华
1989年 1-1.5微米成套工艺开发及相应水平大规模集成电路的研究 国家计委“七五”国家重点科技攻关专题优异成绩表彰 微电子中心
1989年 3微米LSI中试线的建设 1989年,院科技进步二等奖 王守武 刘茂章 周丰年 吴德馨 马文杰 莫大康 周继红 王国民 张藏敬
1988年 半导体工艺和器件的模型参数优化提取和统计模拟(共包括三个软件) 1988年中国科学院科技进步三等奖 夏武颖 郑 颖 曾学勤 许新华 张力 周红
1988年 0.5微米粒子10个/英尺3装配式洁净室 国家计委国家科技成果奖 河北工学院、微电子中心
1986年 集成电路大生产试验 国家计委科技攻关成绩显著表彰;1986年中国科学院“六五”科技攻关重要贡献表彰 中国科学院109厂
1985年 大规模集成电路制造及测试设备 1985年机械工业部嘉奖 中国科学院109厂
1985年 “七五七”工程千万次计算机 1985年国家科学技术进步一等奖 何晋等
1982年 KHA-75型半自动接近接触式光刻机 1982年第一机械工业部科技工作一等奖 中国科学院109厂
1978年 光刻技术设备的应用 1978年中国科学院重大科技成果奖 中国科学院109厂
1978年 109乙晶体管通用数字电子计算机及其软件系统 1978年中国科学院重大科技成果奖;1978年全国科学大会表彰 中国科学院109厂
1978年 013大型通用集成电路数字电子计算机及其软件系统 1978年全国科学大会表彰 中国科学院109厂
1978年 半导体集成电路生产线专用局部空气净化设备 1978年中国科学院重大科技成果奖;1978年全国科学大会表彰 中国科学院109厂
1978年 低功耗TTL-F系列逻辑电路 1978年中国科学院重大科技成果奖;1978年全国科学大会表彰 中国科学院109厂
1978年 ECL-D系列超高速逻辑电路 1978年中国科学院重大科技成果奖;1978年全国科学大会表彰 中国科学院109厂
1978年 抗饱和TTL-E系列高速逻辑电路 1978年中国科学院重大科技成果奖;1978年全国科学大会表彰 中国科学院109厂
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