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副所长:陈大鹏
2011-06-07 | 编辑: | 【 【打印】【关闭】
 

  姓 名: 陈大鹏

  性 别: 男

  职 称: 研究员

  学 历: 博士

  电子邮件: dpchen@ime.ac.cn

  所属部门:集成电路先导工艺研发中心

  研究方向:微细加工技术

  学科类别:核技术及应用

  获奖及荣誉:2003年“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”获北京市科技进步一等奖

  承担科研项目情况:

  (1)“九五”国家重点科技攻关项目97-762“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”的子专题97-762-03 “先进的深亚微米工艺技术”;

  (2)科学院重大创新方向性项目“电子束缩小投影光刻机(SCALPEL)”的子课题“投影电子束掩模研制”;

  (3)科技部863项目“多传感器及阵列传感器集成”;

  (4)科技部863项目“无掩模光刻系统”;

  (5)科技部863项目;

  (6)自然基金仪器专项“新型光学读出非制冷红外成像系统”;

  (7)自然基金“悬臂梁微尖端阵列器件加工及应用技术研究”;

  (8)中科院知识创新方向性项目。

 

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