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微电子所产学研融合协同育人实践平台迎来首批课程实训学员
2016-12-21 | 编辑:科教融合中心 王璐 | 【 【打印】【关闭】
 
  

   12月17日,微电子所产学研融合协同育人实践平台迎来首批课程实训学员。该批学员来自于选修中国科学院大学《半导体工艺与制造技术》课程的130多名研一学生,平台承载了该课程的集成电路工艺课程实训环节,累计6学时。 

  微电子所产学研融合协同育人实践平台设置的集成电路工艺课程模块由集成电路先导工艺研发中心承担。先导中心拥有净化面积约3000平方米的8英寸研发工艺线。平台采用工业标配设备,实行工业化管理,可为国内外企业提供CMOS集成电路和MEMS器件产业技术的开发和小批量生产。依托平台开展实训,在加深同学对课堂所授理论知识的理解的基础上,可以提供真实的身临其境的工业环境,帮助同学们实地了解工艺工程师的工作模式、氛围和意义,激发同学对学业和个人职业的认同感。 

  本次课程实训分为两个环节。首先由平台一线工程师提供关于生产线工作规程、质量控制、沾污控制、安全和超净间事故应急处置措施等内容的培训,使同学们对工艺线建立初步感性认识。然后,实训同学穿上超净服走进工艺线,实地系统地学习集成电路制造的每一个工艺模块,包括离子注入、扩散、湿法清洗、外延生长、薄膜原子层淀积(ALD)、低压化学气相淀积(LPCVD)、等离子体干法刻蚀、光刻、化学机械平坦化、溅射与电子束蒸发、等离子体化学气相淀积(PECVD)、快速热退火(RTP)、薄膜量测及电学性能测量等,使同学们将课堂知识与实际工艺联系起来,加深了对半导体工艺与制造技术课程内容的理解。 

  实训过程中,同学们踊跃提问,和实训老师积极互动,在实践中学习,在实训中成长,同学们对实训效果非常满意。 

  微电子所产学研融合协同育人实践平台提供工艺、设计、测试、封装、装备等多模块全流程实训环节。平台参考集成电路人才工程化培养模式,建立了一套适合集成电路产业发展的工程化课程体系和实训体系,致力于提高集成电路人才的工程实践能力。面向中国科学院大学各学院相关专业领域及跨学科专业领域开放,做好课程实训支撑工作,实现资源共享。同时,该平台还面向其他高校开放,针对本科、硕士、博士等各层次人才培养均设置了相应的实训课程。面向有志于从事微电子领域工作的人员,不定期举办短期专题性培训班。通过设置多层次专业化的培养和培训方案,为我国集成电路领域人才培养及交叉复合型人才培养做出贡献。 

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  如有实训需求,欢迎各相关专业领域及跨学科领域的高校单位和个人来电洽谈。 

  联系人:王璐  

  联系电话:010-82995966   

  地址:北京市朝阳区北土城西路3号中国科学院微电子研究所 

  邮编:100029 

  

  实训老师为同学们实地讲解工艺线 

  参加实训师生合影

 

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